采用可变光衰减器实时调节增益斜率，使EDFA放大后的信号光在整个波段内比较平坦。由增益曲线的抖动（Ripple）可知，需要调节的衰减范围一般只有几个dB，反射式MEMS VOA是一个很好的选择。它不仅具备成本低、快速响应、体积小、衰减精度高、低色散等显著优点外，还有较低的WDL、TDL和PDL，能极好地满足系统的使用要求。
图6 增益平坦EDFA结构示意图
如图6，是控制EDFA动态增益斜率的有源增益斜率均衡器（AGSC），在应用上要优于静态增益平坦技术。当输入信号光功率发生变化时，经过MEMS VOA到达EDFA的输入光功率随之变化，通过TAP PD的监测功率反馈电路，来调节泵浦源的光功率和MEMS VOA的衰减量，对所产生的增益倾斜进行补偿，以确保EDFA输出光功率的增益平坦。
4 总结与讨论
随着DWDM技术的飞跃发展，VOA也得到了越来越广泛地应用，主要用于DWDM系统中各信道的功率均衡、实现增益平坦、动态增益平衡和功率过载保护。在各种不同制造技术的VOA中，基于MEMS的VOA具备显著的优势，也吸引了全球光通信厂商的目光。MEMS VOA常与DWDM、EDFA和TAP PD等一起组合成模块使用，在光通信系统小型化与集成化的前行之路上，已做出了巨大的贡献。
当MEMS技术更趋成熟时，芯片的制造成本也会急剧下降，将不再是器件的主要成本因素。由于MEMS器件的封装需要在净化的防静电环境下进行，且封装工艺精密复杂，因此设法降低MEMS VOA的封装成本将是各器件制造商应该考虑的关键问题。