MEMS VOA光衰减器的工作原理

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MEMS微镜型VOA的WDL优化

MEMS微镜型VOA中的WDL源于两个因素:模场色散和光学系统色散,两个因素的影响累加起来,让最大WDL达到1.5dB。那么这两个因素的影响能否相互抵消,以助于减小WDL呢?答案是可以,但需要精细的分析和设计。

根据式(1),长波具有更大的模场直径,因此其衰减量更小。如图4.16所示,如果光学系统能够对长波的光斑产生更大的偏移量,就可以增加长波的衰减量,从而对衰减谱线产生均衡作用。

MEMS VOA光衰减器的工作原理

图7. 光学系统的色散与模场色散相互抵消情况

然而,根据式(4),因两个因素产生的WDL,只能在某个特定的衰减水平Ac下完全相互抵消。当VOA器件的衰减量被设置为一个异于Ac的数值时,将会存在剩余WDL,如图8所示。

从图8中看到,在优化之前,最大WDL产生于衰减量为20dB时。如果通过优化,将衰减量为20dB时的WDL完全抵消,则最大WDL产生于衰减量为4dB时。 如果将衰减量为13dB时的WDL完全抵消,则在0~20dB的衰减范围内,最大WDL将<0.2dB。

MEMS VOA光衰减器的工作原理

图8. 两个引起WDL的因素相互抵消情况

目前已有各种方案,可通过光学系统产生相反的色散。在图9中,准直透镜与MEMS微镜之间插入了一个棱镜,因而光学系统的色散与模场色散相互抵消。然而,额外加入的棱镜会增加VOA器件的成本和复杂度。图10展示了另一个解决方案,该方案要求制造准直透镜的玻璃材料具有很高的色散,并且透镜前端面倾角>10°(在现有器件中,这个角度通常为8°)[4]。

MEMS VOA光衰减器的工作原理

图9 通过引入棱镜来优化WDL ; 图10 通过高色散的准直透镜来优化WDL

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